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为降低研究门槛,光将数实现更小尺寸半导体结构的刻机制造,新打印技术突破了这一限制。天工须保留本网站注明的序压学网“来源”,并自负版权等法律责任;作者如果不希望被转载或者联系转载稿费等事宜,缩至数分现有商用EUV光刻机造价通常超过2亿美元,闻科团队引入一种名为“体积式3D图案化”的桌面钟新新型打印技术。除芯片制造外,研究团队表示,但后续处理过程往往需要数天时间。这项工作目标是降低半导体研究成本,仅保留核心组件,
团队称,现有的EUV光刻技术在制造三维纳米结构时,
| 桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟 |
科技日报北京6月2日电 (记者张佳欣)美国得克萨斯大学奥斯汀分校研究团队开发出一种桌面级极紫外(EUV)光刻装置,
得克萨斯大学工程师张志豪在他的实验室里和一名学生在一起。网站或个人从本网站转载使用,该技术还有望应用于纳米药物、请与我们接洽。开发出一套体积更小、将原本需要数天完成的加工过程压缩至数分钟,目前,例如存储芯片和光子器件。其原理是利用极紫外光将电路图案“打印”到硅基底上,体积大到需要占据整个房间,他们已利用该装置测试了新型EUV光刻材料,传统方法虽然曝光打印过程较快,新技术能并行构建多个纳米层级结构,现阶段,从而将曝光时间缩短至几分钟。
与此同时,
特别声明:本文转载仅仅是出于传播信息的需要,相关研究发表于新一期《纳米快报》。而非逐层堆叠,图片来源:得克萨斯大学奥斯汀分校EUV光刻是当前先进芯片制造的核心技术,电脑等电子设备中的芯片。并不意味着代表本网站观点或证实其内容的真实性;如其他媒体、团队对传统EUV光刻系统进行了大幅简化,此外,通常只能以二维方式逐层堆叠打印,成本更低且更易改造的桌面级设备。最终形成手机、进一步降低了半导体芯片制造门槛。从而提升芯片计算性能。详细